歐波同第三方檢測|氬離子拋光技術在鍍膜樣品中的應用
氬離子拋光技術是對樣品表面或者截面進行拋光,得到表面光滑無損傷的樣品,能夠觀察到樣品內部真實結構。Gatan公司生產的精密刻蝕鍍膜系統——PECSII685(圖1),是集拋光和鍍膜于一體的氬離子拋光設備,它采用兩個寬束氬離子束對樣品表面進行拋光。685可以做普通的拋光方法無法解決的問題:a.氬氣的工作氛圍,可以有效保護容易氧化或者對水蒸氣特別敏感的材料;b.樣品臺采用液氮制冷方式,可以有效的保護熱敏感的樣品,避免離子束熱損傷;c.685自帶的精確到納米級別的鍍膜功能,可以有效...